北方華創(chuàng)Al Pad PVD成功進駐上海集成電路研發(fā)中心

    2018年3月13日，北方華創(chuàng)再傳捷報，由北方華創(chuàng)下屬子公司北方華創(chuàng)微電子自主開發(fā)的AlPadPVD成功進駐上海集成電路研發(fā)中心。

    北方華創(chuàng)微電子AlPadPVD設(shè)備主要應(yīng)用于90-14nm技術(shù)節(jié)點的BondPad和AlInterconnect工藝，設(shè)備突破了大產(chǎn)能傳輸平臺、高溫靜電卡盤、先進磁控濺射源等一系列關(guān)鍵技術(shù)，解決了厚鋁粘片、晶須缺陷等世界性技術(shù)難題，設(shè)備綜合性能達到國際領(lǐng)先水平，得到業(yè)內(nèi)廣泛認可?？蛻舯榧癓ogic、DRAM、Norflash、3DNAND、FPD等領(lǐng)域，并且已成為多家集成電路制造企業(yè)的Baseline設(shè)備。AlPadPVD設(shè)備良好的用戶口碑和客戶端穩(wěn)定量產(chǎn)的卓越表現(xiàn)，為其贏得了國內(nèi)外知名廠商的肯定和好評。同時，該設(shè)備也憑借優(yōu)異的機臺表現(xiàn)和廣泛的市場認可榮獲了首屆集成電路產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟創(chuàng)新獎。