全面布局 北方華創(chuàng)帶您領(lǐng)略民族半導(dǎo)體裝備的科技之美

    備受矚目的SEMICON China2018展覽于2018年3月14日在上海新國(guó)際博覽中心如期盛大開幕，北京華創(chuàng)再次重磅亮相，全面展示為集成電路、先進(jìn)封裝、半導(dǎo)體照明、功率半導(dǎo)體、微機(jī)電系統(tǒng)、化合物半導(dǎo)體、平板顯示及新能源光伏等尖端領(lǐng)域量身定做的Etch、PVD、CVD、Furnace、WetClean、MFC等高端半導(dǎo)體工藝裝備及核心零部件的解決方案。

    其中，在集成電路芯片制造領(lǐng)域，北方華創(chuàng)微電子擁有刻蝕機(jī)、PVD、單片退火設(shè)備、氧化爐、退火爐、LPCVD以及清洗機(jī)七類產(chǎn)品。經(jīng)過十七年的不懈努力，這些產(chǎn)品已經(jīng)全面在中國(guó)最主流的幾家集成電路芯片廠穩(wěn)定量產(chǎn)。其中，由北方華創(chuàng)自主研發(fā)的應(yīng)用于14nm先進(jìn)制程的等離子硅刻蝕機(jī)、Hardmask PVD、Al-PadPVD、ALD、單片退火系統(tǒng)、LPCVD已正式進(jìn)入集成電路主流代工廠；HardmaskPVD、Al Pad PVD設(shè)備成功進(jìn)入國(guó)際供應(yīng)鏈體系；12寸65/55nm清洗機(jī)單機(jī)累計(jì)流片量已突破120萬片大關(guān)；深硅刻蝕設(shè)備也已成功進(jìn)入東南亞市場(chǎng)。此外，應(yīng)用于28nm的HardmaskPVD系統(tǒng)工藝設(shè)備、應(yīng)用于28/40nm的單片退火設(shè)備、應(yīng)用于55nm的硅刻蝕機(jī)均被國(guó)內(nèi)領(lǐng)軍集成電路芯片制造企業(yè)指定為Baseline機(jī)臺(tái)。應(yīng)用于薄膜/厚膜硅外延的APCVD系統(tǒng)能滿足外延廠和芯片廠的差異化需求，連續(xù)兩年斬獲客戶大批量訂單，不僅填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白，更獲得客戶和市場(chǎng)一致認(rèn)可，實(shí)現(xiàn)了中國(guó)半導(dǎo)體裝備制造技術(shù)一個(gè)又一個(gè)里程碑式的跨越。

    在先進(jìn)封裝領(lǐng)域，北方華創(chuàng)微電子的等離子刻蝕機(jī)，PVD和Descum等設(shè)備已得到全面應(yīng)用，如WLCSP，TSV，Copperpillarbump，Goldbump等。在CISWLCSP應(yīng)用中，北方華創(chuàng)微電子的PVD是世界第一條12寸生產(chǎn)線baseline機(jī)臺(tái)，憑借穩(wěn)定優(yōu)異的表現(xiàn)，持續(xù)獲得重復(fù)訂單，并助力客戶不斷取得高端客戶訂單。在近幾年的新增市場(chǎng)中，北方華創(chuàng)TSV刻蝕機(jī)在大陸地區(qū)以絕對(duì)優(yōu)勢(shì)，保持著較大的市場(chǎng)占有率。Copper Pillar Bump方面，PVD設(shè)備已進(jìn)入大陸前兩大封測(cè)廠生產(chǎn)線，Descum設(shè)備也已獲得前兩大封測(cè)廠的重復(fù)訂單；Gold Bump方面，北方華創(chuàng)的PVD設(shè)備在大陸主要金凸塊封測(cè)廠均實(shí)現(xiàn)銷售。隨著先進(jìn)封裝技術(shù)向高密度和高集成度發(fā)展，將更多的使用到通孔技術(shù)和重布線技術(shù)，意味著有更多的等離子刻蝕和PVD設(shè)備需求，這一趨勢(shì)與北方華創(chuàng)微電子的核心優(yōu)勢(shì)產(chǎn)品高度吻合，北方華創(chuàng)微電子將持續(xù)在該領(lǐng)域提供更新的技術(shù)，以及更加優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)。

    在LED領(lǐng)域，ELEDE系列刻蝕機(jī)自2010年面市以來安裝量已經(jīng)突破三百臺(tái)，其中380G系列刻蝕機(jī)在2014～2017年的新增市占率均達(dá)到90%以上，切實(shí)成為了行業(yè)標(biāo)桿機(jī)型，是國(guó)內(nèi)各大芯片企業(yè)擴(kuò)產(chǎn)的首選產(chǎn)品。北方華創(chuàng)自主研發(fā)的AlN濺射設(shè)備自開發(fā)以來，引領(lǐng)LED最新技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)，幫助客戶節(jié)省外延產(chǎn)能且有效提升芯片發(fā)光亮度和良率等各項(xiàng)指標(biāo)，已成為L(zhǎng)ED不可或缺的制程設(shè)備，更是大量獲得了美國(guó)和臺(tái)灣地區(qū)的重復(fù)訂單，截止2017年底銷量已突破百臺(tái)。而同樣面向LED芯片制造的EPEE550系列PECVD，受到全行業(yè)高度認(rèn)可，市場(chǎng)占有率穩(wěn)居市場(chǎng)首位。2017年，LED領(lǐng)域三類設(shè)備的市場(chǎng)占有率穩(wěn)居全球第一。北方華創(chuàng)微電子在LED領(lǐng)域已樹立起引領(lǐng)行業(yè)方向的大旗，產(chǎn)品性能優(yōu)越，全面趕超各類進(jìn)口設(shè)備，不斷提升服務(wù)、完善技術(shù)解決方案，堅(jiān)持以客戶為中心，持續(xù)不斷的創(chuàng)新發(fā)展，力爭(zhēng)為行業(yè)發(fā)展做出更大的貢獻(xiàn)！

    面向目前高速增長(zhǎng)的MEMS及新興市場(chǎng)，北方華創(chuàng)微電子用于MEMS芯片制造的深硅刻蝕設(shè)備以及通用硅刻蝕設(shè)備，已批量銷往多家科研機(jī)構(gòu)及生產(chǎn)線，服務(wù)于MEMS及微納制造、光通信等多個(gè)新興領(lǐng)域，客戶安裝量超過50臺(tái)。

    在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域，北方華創(chuàng)打破傳統(tǒng)設(shè)備設(shè)計(jì)思路，將SiC刻蝕、GaN刻蝕、介質(zhì)刻蝕、高溫爐、LPCVD、PECVD以及PVD等關(guān)鍵制程設(shè)備發(fā)展成為行業(yè)標(biāo)桿企業(yè)主流機(jī)臺(tái)，可提供第三代半導(dǎo)體功率器件和射頻微波器件整體解決方案。此外，公司自主開發(fā)的臥式LPCVD設(shè)備也實(shí)現(xiàn)了新的應(yīng)用——半導(dǎo)體級(jí)碳納米管的生長(zhǎng)，該應(yīng)用已成功在客戶端上線。

    在新能源光伏領(lǐng)域，北方華創(chuàng)微電子研制的應(yīng)用于高效光伏電池生產(chǎn)的新型負(fù)壓擴(kuò)散爐銷量穩(wěn)居國(guó)內(nèi)前列，暢銷海內(nèi)外；其大產(chǎn)能PECVD，順利獲得海外客戶訂單；應(yīng)用于新能源光伏領(lǐng)域的全自動(dòng)多晶黑硅制絨機(jī)、在線濕法刻蝕清洗機(jī)、在線濕法制絨機(jī)、臥式氧化擴(kuò)散爐、PECVD等設(shè)備均已實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代。

    在平板顯示領(lǐng)域，作為國(guó)內(nèi)首家進(jìn)入TFT-LCD生產(chǎn)線的設(shè)備提供商，公司自主研發(fā)的GrindCleaner、Indexer等設(shè)備均在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占據(jù)重要份額，所提供的各類設(shè)備在客戶端的5代線、6代線、8.5代、10.5代線以及OLED生產(chǎn)線批量穩(wěn)定生產(chǎn)，此外公司新增的環(huán)保類設(shè)備也已成功進(jìn)入京東方各世代生產(chǎn)線，為客戶創(chuàng)造經(jīng)濟(jì)效益。

    此外，北方華創(chuàng)微電子在氣體流量測(cè)量和控制方面擁有多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)優(yōu)勢(shì)，MFC產(chǎn)品行銷歐美，在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)中長(zhǎng)期占據(jù)第一品牌的行業(yè)地位，從2010年至今已累計(jì)銷售突破20萬臺(tái)。

    值得一提的是，北方華創(chuàng)于2018年1月順利完成對(duì)美國(guó)Akrion System LLC公司的收購，該公司作為清洗機(jī)的設(shè)備商，擁有全球唯一的兆聲波異性換能器制造、實(shí)驗(yàn)及標(biāo)定平臺(tái)實(shí)驗(yàn)室。整合后的清洗業(yè)務(wù)包括單片清洗和批式清洗兩大產(chǎn)品線，覆蓋工藝種類進(jìn)一步增多，包括PreFilm Deposition Clean，PR Strip，Backside Clean，Wafer Reclaim，PostEtch Clean，SiN/Oxide Etch，Post Metal Deposition Clean和Al Pad Clean等關(guān)鍵清洗工藝，有力提升了北方華創(chuàng)微電子清洗設(shè)備業(yè)務(wù)的整體市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。

    產(chǎn)業(yè)風(fēng)口，政策支持，資金充足，市場(chǎng)活躍。在2016年，北方微電子和七星華創(chuàng)把握時(shí)代機(jī)遇，不負(fù)振興重任，順利完成企業(yè)重組。優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)，再次啟程，旨在打造中國(guó)最大的半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)平臺(tái)，這是精良品質(zhì)和卓越服務(wù)最佳明證，也是作為一個(gè)為全球半導(dǎo)體制造用戶提供極具競(jìng)爭(zhēng)力的半導(dǎo)體制造裝備和先進(jìn)制程解決方案的國(guó)際品牌的堅(jiān)定一步。2018年1月，北方華創(chuàng)微電子實(shí)現(xiàn)了對(duì)美國(guó)Akrion公司的收購，使得北方華創(chuàng)微電子有能力更好地為全球范圍的客戶提供全面的清洗工藝設(shè)備解決方案。

    北方華創(chuàng)微電子將繼續(xù)以“創(chuàng)造精良，打造民族自尊”為己任，發(fā)揚(yáng)“精良品質(zhì)·卓越服務(wù)·中國(guó)制造”的企業(yè)精神，以高端微電子工藝裝備領(lǐng)軍企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺(tái)，深耕發(fā)展，引領(lǐng)未來，堅(jiān)持以客戶需求為導(dǎo)向的持續(xù)創(chuàng)新，助推產(chǎn)業(yè)技術(shù)進(jìn)步，帶給產(chǎn)業(yè)無限可能。

    上海新國(guó)際博覽中心，N3館3339展位，期待與您相遇，共享行業(yè)盛典。