萬(wàn)業(yè)企業(yè)旗下嘉芯半導(dǎo)體尾氣處理設(shè)備中標(biāo)特色工藝生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目

    本報(bào)記者 施露

    據(jù)必聯(lián)網(wǎng)5月23日發(fā)布的中標(biāo)結(jié)果公告顯示，萬(wàn)業(yè)企業(yè)旗下嘉芯迦能的雙燃燒+雙水洗尾氣處理設(shè)備中標(biāo)特色工藝生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目，中標(biāo)數(shù)量為23臺(tái)。

    據(jù)悉，自2022下半年開(kāi)始，萬(wàn)業(yè)企業(yè)子公司嘉芯半導(dǎo)體多次中標(biāo)多款設(shè)備，包含氮化硅等離子刻蝕機(jī)、金屬等離子刻蝕機(jī)、側(cè)墻等離子刻蝕機(jī)、高密度等離子薄膜沉積設(shè)備（HDP-CVD）、二氧化硅等離子薄膜沉積設(shè)備（PECVD）、摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學(xué)沉積設(shè)備（SACVD）、鈦/氮化鈦沉積設(shè)備（MOCVD）、鋁銅金屬濺射設(shè)備（PVD）以及快速熱處理（RTP）等。

    萬(wàn)業(yè)企業(yè)持續(xù)支持國(guó)產(chǎn)設(shè)備的成長(zhǎng)與研發(fā)，以自主研發(fā)與外延式并購(gòu)雙輪驅(qū)動(dòng)戰(zhàn)略布局半導(dǎo)體設(shè)備材料賽道。目前公司旗下的凱世通和嘉芯半導(dǎo)體已疊加形成多個(gè)半導(dǎo)體前道核心設(shè)備產(chǎn)品線，業(yè)務(wù)覆蓋離子注入機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜沉積、快速熱處理等多類(lèi)設(shè)備。公司以國(guó)內(nèi)獨(dú)有的“1+N”半導(dǎo)體設(shè)備平臺(tái)公司的多品類(lèi)賽道，致力于推動(dòng)中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的蝶變躍升。

（編輯 田冬）