國產光刻機取得重大突破 深市產業(yè)鏈公司迎來發(fā)展新機遇

    本報記者 毛藝融

    國產光刻機迎來重大進展。近日，工業(yè)和信息化部印發(fā)《首臺（套）重大技術裝備推廣應用指導目錄（2024年版）》。其中，在電子專用裝備目錄下，集成電路設備方面包括氟化氬光刻機和氟化氪光刻機。氟化氪光刻機顯示為分辨率≤110nm、套刻≤25nm；氟化氬光刻機顯示為分辨率≤65nm、套刻≤8nm。

    申萬宏源證券認為，官方披露核心設備進展提振市場信心，國產光刻機相關產業(yè)鏈受益，國內晶圓廠擴產自主可控可期，國產半導體設備整體受益。

    受益于政策利好，半導體設備上市公司迎來機遇。以深圳證券交易所市場（以下簡稱“深市”）上市公司為例，同飛股份、凱美特氣、奧普光電、新萊應材、藍英裝備、金力泰等均屬于半導體領域的佼佼者。

    福晶科技是一家非線性光學晶體及激光晶體、精密光學元件和激光器件制造商。2024年半年報顯示，公司瞄準中高端領域的激光器件市場，自主研發(fā)的聲光器件、磁光器件、電光器件等器件類產品獲得固體紫外激光器、光纖激光器、超快激光器客戶的認可并實現批量供應，在聲光產品與光隔離器領域取得顯著突破，成功打破少數國外激光器件供應商的壟斷格局。

    賽微電子是國內擁有自主知識產權和掌握核心半導體制造技術的特色工藝專業(yè)芯片晶圓制造商，其全球客戶包括國際知名光刻機企業(yè)。公司2024年半年報顯示，報告期內，公司積極開拓全球市場，并積極承接MEMS工藝開發(fā)及晶圓制造訂單，持續(xù)服務于包括DNA/RNA測序、光刻機、硅光子、AI計算、ICT、紅外熱成像、計算機網絡及系統(tǒng)、元宇宙、新型醫(yī)療設備等廠商以及通訊、生物醫(yī)療、工業(yè)汽車和消費電子等各細分領域的領先企業(yè)。

    凱美特氣屬于電子特氣領域的“新星”。公司此前公告顯示，2023年2月份公司光刻氣產品取得ASML子公司Cymer公司合格供應商認證函，意味著電子特氣（激光混配氣）有望切入國內及海外主流供應鏈。公司2024年半年報顯示，目前公司已建立研發(fā)部門，掌握了多項氣體方面的核心技術，通過各項激勵措施確保研發(fā)核心團隊穩(wěn)定，通過不斷完善研究開發(fā)機制與技術，促進技術發(fā)展的綠色化和可持續(xù)化。

    新萊應材在泛半導體等業(yè)務領域有所建樹。“公司經過多年持續(xù)努力，無論在真空應用還是在UHP應用等級的管道、管件、閥門等產品被國內外客戶廣泛認可并大量使用。”新萊應材相關負責人在8月27日接受機構調研時表示，公司會抓住半導體產業(yè)鏈國產轉移的契機，在半導體設備及廠務端零部件市場積極布局，預期未來該業(yè)務板塊將保持高速增長。

    同飛股份致力于工業(yè)制冷設備的研發(fā)。公司在8月28日接受機構調研時表示，公司持續(xù)激發(fā)創(chuàng)新活力，重點聚焦儲能、高端裝備制造、電力電子、半導體制造、氫能、數據中心、新能源汽車（充換電）等核心產業(yè)方向展開深入研發(fā)，2024年上半年公司研發(fā)費用為4590.11萬元，同比增長24.11%，占營業(yè)收入的5.74%。

    民生證券表示，海外半導體設備供給持續(xù)高增滿足短期擴產需求，國產光刻機技術亦在持續(xù)突破，利好半導體設備自主可控的長期發(fā)展，繼續(xù)看好國內晶圓廠的投資增長和國產半導體設備的國產化機遇。

（編輯 何帆）