聯(lián)創(chuàng)超導(dǎo)高溫超導(dǎo)磁控硅單晶生長技術(shù)通過專業(yè)鑒定

    本報(bào)訊 （記者曹琦）據(jù)江西聯(lián)創(chuàng)超導(dǎo)技術(shù)有限公司（以下簡稱“聯(lián)創(chuàng)超導(dǎo)”）官微消息，近日公司“高溫超導(dǎo)磁控硅單晶生長裝備、技術(shù)及應(yīng)用科技成果鑒定會(huì)”順利召開。由中國科學(xué)院院士甘子釗領(lǐng)銜的專家委員會(huì)對(duì)項(xiàng)目展開全面評(píng)估，并一致認(rèn)為該技術(shù)填補(bǔ)了我國在高端硅晶體制造領(lǐng)域的多項(xiàng)空白，綜合性能達(dá)到國際領(lǐng)先水平。

    針對(duì)高品質(zhì)大尺寸硅單晶生長技術(shù)瓶頸，高溫超導(dǎo)磁控硅單晶生長裝備、技術(shù)及應(yīng)用首次將高溫超導(dǎo)磁體技術(shù)應(yīng)用于磁控直拉單晶生長，研制出高溫超導(dǎo)磁控硅單晶生長裝備，形成了大尺寸硅單晶長棒快速、高穩(wěn)定性、低含氧量的生長工藝，實(shí)現(xiàn)了大尺寸（12吋以上）高品質(zhì)硅單晶的生產(chǎn)，經(jīng)濟(jì)和社會(huì)效益十分顯著。高溫超導(dǎo)磁控硅單晶生長裝備可將硅片含氧量穩(wěn)定控制在5ppma以下，硅棒頭尾利用率提升4%以上，生產(chǎn)效率提升12%，目前已拉出直徑達(dá)340mm的高品質(zhì)硅棒。

    甘子釗院士在會(huì)議中指出：“這是國際上首次將高溫超導(dǎo)技術(shù)應(yīng)用于磁控直拉單晶生長，為高溫超導(dǎo)技術(shù)產(chǎn)業(yè)化做了很多開創(chuàng)性的工作，開辟了超導(dǎo)技術(shù)產(chǎn)業(yè)化新賽道。”他特別提到，該技術(shù)對(duì)實(shí)現(xiàn)“雙碳”目標(biāo)具有戰(zhàn)略意義。專家委員會(huì)認(rèn)為該項(xiàng)目解決了磁控條件下大尺寸硅單晶生長爐高溫度均勻性節(jié)能型熱場(chǎng)設(shè)計(jì)、模塊化大尺寸傳導(dǎo)冷卻高溫超導(dǎo)磁體設(shè)計(jì)、電﹣磁﹣熱﹣流體多場(chǎng)耦合下硅單晶生長分析與控制等關(guān)鍵技術(shù)難題，取得了多項(xiàng)創(chuàng)新性技術(shù)成果，研制出的高溫超導(dǎo)磁控硅單晶生長裝備在生產(chǎn)實(shí)踐中得到了應(yīng)用，表明該項(xiàng)目總體技術(shù)水平已達(dá)國際領(lǐng)先。

（編輯 張偉）